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山東博華電子科技發(fā)展有限公司成立于2017年，位于淄博高新區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新園內(nèi)，是由淄博高新區(qū)管委會、MEMS研究院共同成立的全資子公司，公司總投資約1.6億元，其中已投入工藝設備約1億元，廠房基礎建設、土地約6000萬元。廠房面積5000m2，分環(huán)境動力區(qū)、辦公區(qū)、潔凈區(qū)。潔凈面積1540m2，百級區(qū)340m2、千級區(qū)400m2，萬級區(qū)800m2，超凈規(guī)模國內(nèi)一流，省內(nèi)。擁有德國SUSS公司光刻機、奧德利EVG公司鍵合機、英國SPTS公司深硅刻蝕機等國際一流6英寸半自動MEMS及微納米代工線設備，生產(chǎn)能力達到月產(chǎn)傳感器十萬只以上，產(chǎn)品的測試環(huán)境也居國內(nèi)水平。

淄博高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)MEMS研究院是由淄博高新區(qū)管委會與清華大學機械工程學院合作共建。公司于2017年12月成立，以“精密測試技術及儀器國家重點實驗室MEMS分實驗室”、“清華大學微米納米技術研究中心MEMS分中心”和“智能微系統(tǒng)教育部重點實驗室MEMS分實驗室”為技術依托，集中了國內(nèi)專業(yè)從事MEMS工藝和傳感器設計的專家人才，專門從事微型傳感器的研發(fā)和生產(chǎn)，是山東省一家采用MEMS技術批量生產(chǎn)微型傳感器的企業(yè)。

為了充分發(fā)揮山東博華電子科技發(fā)展有限公司的作用，聚集MEMS領域的研發(fā)機構(gòu)和生產(chǎn)企業(yè)，管委會投資打造淄博高新區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)園。MEMS產(chǎn)業(yè)園位于中潤大道和聯(lián)通路之間，淄東鐵路以東，工業(yè)路以西；該項目用地面積9.93公頃，總建筑面積151306㎡，項目總投資54720萬元。園區(qū)重點引進國內(nèi)外MEMS創(chuàng)業(yè)團隊、產(chǎn)品公司、封裝測試公司，致力打造涵蓋微機電系統(tǒng)器件設計、中試代工、封裝測試、規(guī)模量產(chǎn)的全產(chǎn)業(yè)鏈一流產(chǎn)業(yè)園區(qū)。